氨:工艺路线:吸附与精馏气量:100 Nm3/h --500 Nm3/h(更多气量可选多套组合)纯度:99.9995-99.99999% 压力:满足各等级压力需求
高纯氨氨: 工艺路线:吸附与精馏 气量:100 Nm3/h --500 Nm3/h(更多气量可选多套组合) 纯度:99.9995-99.99999% 压力:满足各等级压力需求
一种超高纯氨生产装置,它涉及高纯光电子特气制取技术领域。液氨贮槽与液氨泵的一端连通,液氨泵的另一端与气化器的一端连通,气化器的另一端与除油器的一端连通,除油器的另一端与预纯化装置的一端连通,预纯化装置的另一端与第一精馏塔连接,第一精馏塔分别与冷凝器的一端、第一沸器的一端和第二精馏塔连接,冷凝器的另一端和第一沸器的另一端均与第一精馏塔连接,第二精馏塔的两端分别与调节冷凝器的一端和第二沸器的一端连接,调节冷凝器的另一端和第二沸器的另一端均与第二精馏塔连接,第二精馏塔与深度纯化装置连接;本实用新型能生产电子级高纯氨(5N5),光电子级超纯氨(6N4),光电子级超高纯氨(7N),三种不同规格的超纯氨产品,节约能源,降低成本,更好的满足不同用户的需求。