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四氟化碳

简介：

四氟化碳是不燃烧的无色、无味的压缩气体，充装于四氟化碳钢瓶中，饱和蒸汽压约压力2000 psig。四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗，太阳能电池的生产，激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态，印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于四氟化碳的化学稳定性，四氟化碳可用于金属冶炼，例如：铜、不锈钢，碳钢、铝、蒙乃尔等；还可用于塑料行业；如：合成橡胶、氯丁橡胶、聚氨基甲酸乙酯。 

   
 

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     A colorless，nonflammable，high pressure gas.(一种无色不燃高压气体)
     Formula(分子式)： CF4 　
     Molecular weight(分子量): 88 　
     Boiling point(沸点): -78.2℃ -108.76°F
     Melting point(熔点)： -100.7℃ -149.26°F
     Vapor pressure(蒸汽压): 13.8MPa（21.1℃） 2000Psia(70°F)
     Specific volume(比容): 0.27m3/kg(21.1℃,101.325KPa） 
    4.4ft3/lb(70°F,14.696psia)
     UN Number（UN号码）: UN1982 　
     DOT Classification(DOT类别): 2.2(Nonflammable Gas)(不燃性气体)
     DOT Lable(DOT标签): NON-FLAMMABLE GAS(不燃性气体)
     Grsde(级别): 5N 　 　 

     

     纯度   

    Purity(纯度): 99.999% 
     Impurity(非组分): Specification(标准）
     Oxygen(氧): ≤2.0  ppmv
     Nitrogen(氮): ≤5.0  ppmv
     Carbon Dioxide(二氧化碳): ≤0.5　ppmv
     Carbon Monoxide(一氧化碳): ≤0.5　ppmv
     Other Organics(其他有机物)： ≤0.1　ppmv
     Water(水): ≤1.5　ppmv
     Acidity as HF(酸化物，如氟化氢)： ≤1.0　ppmv 

     

     

     包装

    容积

    重量

    连接阀门

     小钢瓶

    44L 47L

    31Kg

    CGA580 CGA320 DISS716 QF-011

     

     

    注意事项

    四氟化碳是不燃性压缩气体。储存于阴凉、通风仓间内。仓内温度不宜超过60℃。远离火种、热源。防止阳光直射。应与易燃或可燃物分开存放。验收时要注意品名，注意验瓶日期，先进仓的先发用。搬运四氟化碳时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。泄漏时，应迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。如有可能，即时使用。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。

 
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