一氧化氮用作麻醉剂,制冷剂,助燃剂,防腐剂;半导体制造用平衡气,氧化,化学气相淀积。为具有强刺激性窒息气味的黄绿色有毒气体。主要应用于硅的氧化膜形成、氧化、化学气相淀积、火箭推进剂、标准气、校正气、大气监测标准混合气。
纯度
一氧化氮(NO)
Specification(标准)
≥99.2%
≥99.9%
≥99.99%
二氧化碳(CO2)
≤1000 ppmv
≤100 ppmv
≤20 ppmv
氧化亚氮(N2O)
≤2500 ppmv
≤500 ppmv
≤30 ppmv
二氧化氮(NO2)
≤3000 ppmv
≤300 ppmv
氮(N2)
≤200 ppmv
≤50 ppmv