氨气多应用于晶圆清洗、在CVD过程中生成氮化硅或氮化镓等薄膜。液氨广泛地应用于半导体工业、冶金工业,以及需要保护气氛的其他工业和科学研究中。
液体无水氨(GB536-88)
项目名称
指标
优等品
一等品
合格品
氨含量,% ≥
99.9
99.8
99.6
残留物含量,% ≤
0.1(重量法)
0.2
0.4
水分,% ≤
0.1
—
油含量,mg/kg ≤
5(重量法)
2(红外光谱法)
铁含量,mg/kg ≤
1
包装
容积
装量
连接接口
小钢瓶
40L/47L
22kg
CGA660,DISS720
Y瓶
440L
230kg
DISS720
T瓶
944L
480kg
ISO槽车
22.5Nm3
11ton
2" Valve
氨气多应用于晶圆清洗、在CVD过程中生成氮化硅或氮化镓等薄膜。
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