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苏州超纯氨

简介：

金宏气体原厂自主生产的超纯氨应用于晶圆清洗、在CVD过程中生成氮化硅或氮化镓等薄膜。

   
 

  • A colorless,toxic,flammable,corrosive,liquefied gas.（一种无色，有毒，可燃，具腐蚀性的可液化气体）

     Formula(分子式)：

    NH3

    　

     Molecular weight(分子量):

    17.03g/mol

    　

     Boiling point(沸点):

    -33.4℃

    28.1°F

     Melting point(熔点)：

    -77.7℃

    107.9°F

     Vapor pressure(蒸汽压):

    888KPa（21.1℃）

    129Psia(70°F)

     Specific volume(比容):

    1.41m3/kg(21.1℃,101.325KPa） 

    22.6ft3/lb(70°F,14.696psia)

     Lower Flammable Limit(最低可燃性含量)：

    15%

    　

     Upper Flammable Limit(最高可燃性含量)：

    30%

    　

     Threshold Limit Value（人体的最高容许浓度）:

    25ppm

    　

     DOT Classification(DOT类别):

    2.2(Flammable Gas)(可燃性气体)

     DOT Lable(DOT标签):

    FLAMMABLE GAS(可燃性气体)

     

     

     7N超纯氨（Q/320507 LAS03-2011)

     项目名称

     超纯氨

     氨（NH3）纯度（体积分数）/10-2          ≥

     99.99999

     氢（H2）含量（体积分数）/10-6           ＜

     0.01

     氧+氩（O2+Ar）含量（体积分数）/10-6     ＜

     0.01

     氮（N2）含量（体积分数）/10-6               ＜

     0.01

     一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6       ＜

     0.01

     二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6      ＜

     0.01

     烃（C1～C3）含量（体积分数）/10-6          ＜

     0.01

     水分（H2O）含量（体积分数）/10-6           ＜

     0.05

     总杂质含量（体积分数）/10-6                  ≤

     0.1

     

     

     包装

    容积

    重量

    连接阀门

     小钢瓶

    40L 44L 47L

    22Kg

    CGA660 DISS720

     Y瓶

    440L

    230Kg

    DISS720(手动）DISS720(气动)

     T瓶

    930L

    480Kg

    DISS720(手动）

     超纯氨是微电子氮化硅掩蔽膜的主要原材料，其反应为： 750—850℃ ：SiH4+NH3---Si3N4+H2+N2 ，850—900℃ ：SiCl4+NH3---Si3N4+HCl+N2。虽然NH3在半导体制造用量不大，但在光电子领域、超纯氨是十分重要的原材料，NH3的质量好坏直接决定发光二极管（LED）的亮度，它的价格高低左右着LED的经济性。发光二极管LED是继爱迪生发明电灯后，人类又一次照明工业的革命，发达国家（包括我国台湾省在内）为在此领域获得更大的主动权，纷纷成立国家照明工作委员会，LED现已产业化生产，台湾生产的LED已大量进入我国市场，为打破专利垄断，中国成立了照明工作领导办公室，中国将在2006年全面推广半导体照明，届时对NH3的需求将猛增。LED是利用超纯氨同三甲基镓（被称为MO源）反应，生成GaN半导体的，其反应为 650℃ Ga(CH3)3+NH3 ，GaN+CH4N2 发达国家光电子发展速猛，处于成熟期，因此，极大推动气体公司对氨提高纯度的研究，AP公司的Solkatronic chemicals 推出的NH3纯度达到6.4N，被称为“Blue Ammonia”。它是采用工业氨经吸附——精馏——深度化学净化等联合工艺，对氨进行净化。亚洲的日本昭合电工株式会社，有电子级氨对外出售，目前，我国许多LED生产用户所用的进口氨，基本上是普莱克斯、APCI和日本昭合电工。我国对氨净化、分析等的研究起步于80年代，当时为满足我国微电子工业的需要，光明化工研究设计院、北京氧气厂先后开展了电子级高纯氨的研究与生产，生产的产品满足了当时我国电子工业对氨的急需，进入2000年光明院又承担了国家十五“863”“超纯氨的研究与产业化生产”课题，在国家资金的资助下，经过系列的研究，克服了氨净化过程中的“马蹄型”效益，在原有的基础上，对氨净化技术，大规模生产技术，产品包装技术等诸多方面有突破性进展，现有100kg超纯氨包装容器20多支，往返生产与用户之间，整个生产线实现了自动化，产量达到500t/a，生产的产品三年来一直应用于LED生产线，是目前国内真正用于LED大规模实用化生产流水线的氨生产厂，预计在今年年底，随着用户对MOCVD设备的再次扩大，国产氨用量将大规模攀升。

 
金宏气体
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