氮气或氩气为平衡气的组分和浓度有:氧气(1-100ppm)、氢气(1-100ppm)
氩气或氦气为平衡气的组分和浓度有:氮气(5-100ppm)、一氧化碳(1-10ppm)、甲烷(1-10ppm)、二氧化碳(1-10ppm)、氢气(1-10ppm)、氧气(5-10ppm)
空分用标准气体
组分与浓度
平衡气
O2 1-100ppm,H2 1-100ppm
N2或Ar
N2 5-100ppm,CO 1-10ppm,CH4 1-10ppm, CO2 1-10ppm,H2 1-10ppm, O2 5-10ppm
Ar、He等